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華中科技大學光刻膠重大突破 國產(chǎn)光刻膠通過量產(chǎn)驗證

來源:慧正資訊 2024-10-29 16:08

慧正資訊,近日從湖北華中科技大學傳來消息,該校武漢光電國家研究中心團隊在國內(nèi)率先攻克合成光刻膠所需的原料和配方,這一具有里程碑的進展,助推我國芯片制造關(guān)鍵原材料突破瓶頸。據(jù)悉,其研發(fā)的T150A光刻膠系列產(chǎn)品已通過半導體工藝量產(chǎn)驗證,實現(xiàn)了原材料全部國產(chǎn),配方全自主設(shè)計,有望開創(chuàng)國內(nèi)半導體光刻制造新局面。

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光刻膠是一種感光材料,用于芯片制造的光刻環(huán)節(jié),工作原理類似于照相機的膠卷曝光。芯片制造時,會在晶圓上涂上光刻膠,在掩膜版上繪制好電路圖。當光線透過掩膜版照射到光刻膠上會發(fā)生曝光,經(jīng)過一系列處理后,晶圓上就會得到所需的電路圖。由于光刻膠是芯片制造的關(guān)鍵材料,國外企業(yè)對其原料和配方高度保密,目前我國所使用的光刻膠九成以上依賴進口。

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武漢光電國家研究中心團隊研發(fā)的這款半導體專用光刻膠對標國際頭部企業(yè)主流KrF光刻膠系列。相較于國外同系列UV1610產(chǎn)品,T150A在光刻工藝中表現(xiàn)出的極限分辨率達到120nm,且工藝寬容度更大、穩(wěn)定性更高、留膜率更優(yōu),其對刻蝕工藝表現(xiàn)更好,通過驗證發(fā)現(xiàn)T150A中密集圖形經(jīng)過刻蝕,下層介質(zhì)的側(cè)壁垂直度表現(xiàn)優(yōu)異。
據(jù)悉,T150A產(chǎn)品已經(jīng)由武漢太紫微光電科技有限公司正式商業(yè)化,太紫微公司成立于2024年5月,由華中科技大學武漢光電國家研究中心團隊創(chuàng)立。團隊立足于關(guān)鍵光刻膠底層技術(shù)研發(fā),在電子化學品領(lǐng)域深耕二十余載。企業(yè)負責人、英國皇家化學會會員、華中科技大學教授朱明強表示:“以原材料的開發(fā)為起點,最終獲得具有自主知識產(chǎn)權(quán)的配方技術(shù),這只是個開始,我們團隊還會發(fā)展一系列應(yīng)用于不同場景下的KrF與ArF光刻膠,為國內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)帶來更多驚喜?!?

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太紫微核心研發(fā)團隊成員(前排左一為朱明強教授)

立足于關(guān)鍵光刻膠底層技術(shù)研究,致力于半導體專用高端電子化學品原材料和光刻膠的開發(fā),并以新技術(shù)路線為半導體制造開辟新型先進光刻制造技術(shù),同時為材料的分析與驗證提供全面的手段。

據(jù)市場預(yù)測,2024年全球光刻機市場規(guī)模有望達到295.7億至315億美元之間,顯示出強勁的增長勢頭。2023年中國光刻機產(chǎn)量為124臺,而需求量高達727臺,顯示出中國市場對光刻機的巨大需求。

2023年中國光刻機市場規(guī)模已突破160.87億元,預(yù)計未來幾年將繼續(xù)保持快速增長。這主要得益于中國半導體產(chǎn)業(yè)的加速崛起以及政府對半導體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)投入和支持。中國作為全球最大的芯片消費國之一,正在加速推動芯片在國內(nèi)的制造和應(yīng)用。隨著新能源汽車、5G通信等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,中國對高端光刻機的需求將進一步增加。

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