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華中科技大學(xué)光刻膠重大突破 國(guó)產(chǎn)光刻膠通過(guò)量產(chǎn)驗(yàn)證

來(lái)源:慧正資訊 2024-10-29 16:08

慧正資訊,近日從湖北華中科技大學(xué)傳來(lái)消息,該校武漢光電國(guó)家研究中心團(tuán)隊(duì)在國(guó)內(nèi)率先攻克合成光刻膠所需的原料和配方,這一具有里程碑的進(jìn)展,助推我國(guó)芯片制造關(guān)鍵原材料突破瓶頸。據(jù)悉,其研發(fā)的T150A光刻膠系列產(chǎn)品已通過(guò)半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗(yàn)證,實(shí)現(xiàn)了原材料全部國(guó)產(chǎn),配方全自主設(shè)計(jì),有望開(kāi)創(chuàng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻制造新局面。

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光刻膠是一種感光材料,用于芯片制造的光刻環(huán)節(jié),工作原理類(lèi)似于照相機(jī)的膠卷曝光。芯片制造時(shí),會(huì)在晶圓上涂上光刻膠,在掩膜版上繪制好電路圖。當(dāng)光線(xiàn)透過(guò)掩膜版照射到光刻膠上會(huì)發(fā)生曝光,經(jīng)過(guò)一系列處理后,晶圓上就會(huì)得到所需的電路圖。由于光刻膠是芯片制造的關(guān)鍵材料,國(guó)外企業(yè)對(duì)其原料和配方高度保密,目前我國(guó)所使用的光刻膠九成以上依賴(lài)進(jìn)口。

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武漢光電國(guó)家研究中心團(tuán)隊(duì)研發(fā)的這款半導(dǎo)體專(zhuān)用光刻膠對(duì)標(biāo)國(guó)際頭部企業(yè)主流KrF光刻膠系列。相較于國(guó)外同系列UV1610產(chǎn)品,T150A在光刻工藝中表現(xiàn)出的極限分辨率達(dá)到120nm,且工藝寬容度更大、穩(wěn)定性更高、留膜率更優(yōu),其對(duì)刻蝕工藝表現(xiàn)更好,通過(guò)驗(yàn)證發(fā)現(xiàn)T150A中密集圖形經(jīng)過(guò)刻蝕,下層介質(zhì)的側(cè)壁垂直度表現(xiàn)優(yōu)異。
據(jù)悉,T150A產(chǎn)品已經(jīng)由武漢太紫微光電科技有限公司正式商業(yè)化,太紫微公司成立于2024年5月,由華中科技大學(xué)武漢光電國(guó)家研究中心團(tuán)隊(duì)創(chuàng)立。團(tuán)隊(duì)立足于關(guān)鍵光刻膠底層技術(shù)研發(fā),在電子化學(xué)品領(lǐng)域深耕二十余載。企業(yè)負(fù)責(zé)人、英國(guó)皇家化學(xué)會(huì)會(huì)員、華中科技大學(xué)教授朱明強(qiáng)表示:“以原材料的開(kāi)發(fā)為起點(diǎn),最終獲得具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的配方技術(shù),這只是個(gè)開(kāi)始,我們團(tuán)隊(duì)還會(huì)發(fā)展一系列應(yīng)用于不同場(chǎng)景下的KrF與ArF光刻膠,為國(guó)內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)帶來(lái)更多驚喜?!?

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太紫微核心研發(fā)團(tuán)隊(duì)成員(前排左一為朱明強(qiáng)教授)

立足于關(guān)鍵光刻膠底層技術(shù)研究,致力于半導(dǎo)體專(zhuān)用高端電子化學(xué)品原材料和光刻膠的開(kāi)發(fā),并以新技術(shù)路線(xiàn)為半導(dǎo)體制造開(kāi)辟新型先進(jìn)光刻制造技術(shù),同時(shí)為材料的分析與驗(yàn)證提供全面的手段。

據(jù)市場(chǎng)預(yù)測(cè),2024年全球光刻機(jī)市場(chǎng)規(guī)模有望達(dá)到295.7億至315億美元之間,顯示出強(qiáng)勁的增長(zhǎng)勢(shì)頭。2023年中國(guó)光刻機(jī)產(chǎn)量為124臺(tái),而需求量高達(dá)727臺(tái),顯示出中國(guó)市場(chǎng)對(duì)光刻機(jī)的巨大需求。

2023年中國(guó)光刻機(jī)市場(chǎng)規(guī)模已突破160.87億元,預(yù)計(jì)未來(lái)幾年將繼續(xù)保持快速增長(zhǎng)。這主要得益于中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的加速崛起以及政府對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)投入和支持。中國(guó)作為全球最大的芯片消費(fèi)國(guó)之一,正在加速推動(dòng)芯片在國(guó)內(nèi)的制造和應(yīng)用。隨著新能源汽車(chē)、5G通信等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,中國(guó)對(duì)高端光刻機(jī)的需求將進(jìn)一步增加。

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