慧正資訊，3月27日，山東東岳化工有限公司40噸/年含氟電子特氣材料項目受理公示，項目主要主要建設(shè)40t/a含氟電子特氣材料生產(chǎn)裝置一套，包括年產(chǎn)20噸/年三氟甲烷（電子級）、20噸/年八氟環(huán)丁烷（電子級），計劃投資1500萬，預(yù)計2023年10月投產(chǎn)。

這一消息也意味著，東岳集團正式進入含氟特氣領(lǐng)域。電子級三氟甲烷、八氟環(huán)丁烷是眾多含氟電子特氣材料之一，是人工智能芯片、超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，國內(nèi)對含氟電子特種氣體工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)存在迫切需求，由于受歐美日韓等發(fā)達國家技術(shù)嚴密封鎖而導(dǎo)致含氟電子特種氣體制備成為一種“卡脖子”技術(shù)，應(yīng)用于28nm以下的高端芯片和人工智能芯片制造的關(guān)鍵材料含氟電子特種氣體產(chǎn)品都只能進口，因此，急需通過科技攻關(guān)開發(fā)出高純超凈、適用性強的含氟電子特種氣體系列產(chǎn)品，對于促進我國人工智能芯片國產(chǎn)化有著重要意義。

電子級三氟甲烷

目前，國內(nèi)生產(chǎn)高純?nèi)淄榈钠髽I(yè)較少，有一些企業(yè)正處于籌劃或研發(fā)階段，主要分為兩類：一類為擁有高純氣體生產(chǎn)經(jīng)驗并以氣體為主業(yè)的氣體公司；另外一類是氟化工企業(yè)，他們利用具有合成技術(shù)或副產(chǎn)三氟甲烷的優(yōu)勢進行提純研究，希望以此為切入口進入高端含氟氣體市場。

盡管國內(nèi)氟化工企業(yè)擁有原料優(yōu)勢，但由于純度99.999%以上高純氣體與工業(yè)級氣體的生產(chǎn)技術(shù)有著很大的區(qū)別，國產(chǎn)三氟甲烷的純度與進口產(chǎn)品還有一定的差距，因此，國內(nèi)電子級三氟甲烷幾乎全部來自于外資氣體公司。

八氟環(huán)丁烷，又名全氟環(huán)丁烷，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，無毒且無臭氧影響，溫室效應(yīng)低，是一種綠色環(huán)保型特種氣體，主要應(yīng)用于高壓絕緣、超大規(guī)模集成電路蝕刻劑、代替氯氟烴的混合制冷劑、 氣溶膠、清洗劑（電子工業(yè)用）、噴霧劑、熱泵工作流體等。隨著蒙特利爾協(xié)議的實施和電子行業(yè)的飛速增長，八氟環(huán)丁烷的作用日趨重要，使用量也在逐年上升，是一種重要的特種含氟氣體。

近年來，在制冷、發(fā)泡材料、電子電力、化工等領(lǐng)域持續(xù)發(fā)展的驅(qū)動下，中國相關(guān)企業(yè)加大八氟環(huán)丁烷產(chǎn)能布局，尤其是半導(dǎo)體、顯示面板等電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展及其所展現(xiàn)出的良好市場前景，刺激華特氣體、德爾科技、綠菱氣體等企業(yè)積極布局高純八氟環(huán)丁烷產(chǎn)業(yè)，成為推動中國八氟環(huán)丁烷供給量增長的重要動力。

但是，目前國內(nèi)能生產(chǎn)高純度八氟環(huán)丁烷的廠家不多，在合成和提純技術(shù)方面進展較慢，與國外氣體廠家相比還存在較大差距，因此國內(nèi)相關(guān)企業(yè)應(yīng)繼續(xù)加大研發(fā)力度，優(yōu)化生產(chǎn)工藝，提高產(chǎn)品等級，滿足未來市場需求。